在12英寸独立式光学线宽测量设备(OCD)、12英寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备(Review SEM)进入客户验证阶段后，精测电子(300567.SZ)开启了在半导体前道量测检测设备领域的新布局，瞄准了明场缺陷检测设备。

近日，精测电子发布公告称，公司控股子公司上海精积微拟引入新的投资者，与原股东上海精测拟共向上海精积微出资3亿元，以取得进一步发展，扩大规模，增强业务能力。

精测电子表示，此次增资有利于上海精积微获得充裕资金，以开展半导体检测 领域相关设备的研发及产品化，有利于公司下一阶段的良性发展。

获充裕资金开展相关研发

根据精测电子公告内容，此次增资的投资者包括上海装备投、张江燧锋、浦东海望、海宁精海、上海精望，以及公司实控人彭骞，出资金额分别为2500万元、2500万元、5000万元、1亿元、5000万元、2500万元。而这些引入的新股东中，多数颇有来头。

例如，上海装备投，其股东万业企业、大基金、执行事务合伙人上海半导体装备材料产业投资管理有限公司分别占出资比例的19.8%、19.8%、0.99%，实际控制人为朱旭东。张江燧锋的合伙人包括浦东建设、张江高科、上海浦东科技创新投资基金合伙企业(有限合伙)、上海科创中心一期股权投资基金合伙企业(有限合伙)等。浦东海望的合伙人包括上海浦东科技创新投资基金合伙企业(有限合伙)、浙江韦尔股权投资有限公司等，韦尔股份100%持有浙江韦尔股权投资有限公司。

本次增资完成后，上海精测持有上海精积微的股权比例由100%变更为21.43%。鉴于上海精望、彭骞已于今年2月11日分别同上海精测签订了《股东表决权委托协议》，同意将其持有的上海精积微股权所对应的表决权、提名权和提案权独家、无偿且不可撤销地委托上海精测行使，因此上海精积微仍为公司合并报表范围内公司。

上海精积微设立于2021年5月12日，注册资本5000万元，经营范围包括一般项目：半导体、计算机、显示屏、光伏、锂电池、新能源、检测设备、测试设备科技领域内的技术服务、技术转让、技术咨询、技术开发等。

长江商报记者了解到，目前在图形晶圆光学明场缺陷检测领域，美国KLA一家独大，占据半壁江山，AMAT 和Hitachi 占比也都超过10%，三家合计市占率达75%。国内前道测试设备与国外相比差距较大，我国半导体设备厂商在该领域几乎处于空白阶段。

本土企业中，中科飞测和上海精测分别在检测设备和测量设备领域实现突破。其中，上海精积微现阶段便主要聚焦明场晶圆有图形缺陷检测设备领域相关产品的研究开发以及生产制造等。

据精测电子披露，这类领域技术壁垒、研发周期相对较长，资金需求较大，目前都被海外巨头供应商垄断，从技术面到市场面都具备一定的风险。此次增资公司放弃部分优先认购权引入不同的战略合作方风险共担，有利于其获得充裕资金得以开展半导体检测领域相关设备的研发及产品化，有效降低公司及上海精测的投资风险和资金压力，有利于上海精积微下一阶段的良性发展。

日前，精测电子在与投资者互动时指出，目前上海精测生产经营情况一切正常，现已形成了膜厚/OCD量测设备、电子束量测设备、泛半导体设备三大产品系列，其半导体检测领域相关主力产品已取得国内一线客户的批量重复订单，其余储备的产品目前正处于研发、认证以及拓展的过程中。

已形成半导体检测全领域布局

资料显示，精测电子成立于2006年，以模组检测设备起家，2013 年通过收购台湾光达和宏濑光电，产品拓展至AOI、OLED检测等领域，是国内面板检测设备领域覆盖最全的公司之一。2010年，公司进入检测自动化领域，又于2014年进入面板前工程光学领域。2016年11月22日，精测电子在深交所创业板上市，之后开始搭建海外投资平台，进一步走向国际化。

2018年，精测电子从平板显示检测领域，正式跨入半导体、新能源行业的测试领域，并迅速迎来新一轮业绩增长。2019年、2020年，公司营业收入分别为19.5亿元、20.77亿元，分别同比增长40.39%、6.45%。

2021年前三季度，精测电子实现营业收入为17.68亿元，同比增长42.98%;归母净利润为1.82亿元，同比增长20.33%。其中，2021年上半年，公司实现营业收入12.92亿元，同比增长76.44%;归母净利润1.46亿元，同比增长高达203.43%。

在市场最为关注的半导体前道量测检测设备领域，精测电子在2021年取得了长足的进展。

资料显示，精测电子已基本形成在半导体检测前道、后道全领域的布局。其中，上海精测主要聚焦半导体前道检测设备领域，现已形成了膜厚/OCD量测设备、电子束量测设备、泛半导体设备三大产品系列。子公司武汉精鸿主要聚焦自动检测设备(ATE)领域(主要产品是存储芯片测试设备)，并已实现关键核心产品技术转移、国产化研发、制造、核心零部件国产化，由之前单一老化产品线扩展到了 CP/FT 产品线。

精测电子表示，公司2021年7月份出机中芯国际12寸独立式光学线宽测量设备(OCD)与12寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备(Review SEM)，当前进展非常顺利，公司正在积极推进相关业务。目前公司在半导体领域在手订单快速增长，公司对2022年在半导体领域的市场需求和订单持积极乐观态度。

公司还表示，后续将持续加大对半导体及新能源领域的研发投入，进一步完善新业务板块产业布局，将公司发展成为“半导体、显示、新能源行业以测试设备为核心的综合服务提供商”。据披露，精测电子去年上半年研发投入1.74亿元，较上年同期增加36.80%，占营业收入的13.49%。2018年至2020年，公司研发投入金额分别为1.72亿元、2.88亿元、3.22亿元，呈逐年递增趋势。

有机构指出，精测电子作为国内面板检测产品线最齐全玩家，通过内生外延不断实现业务纵向深化和横向拓展，逐步形成“显示、半导体、新能源三位一体”业务布局。预计公司在把握国内面板检测设备存量替代市场和OLED 与高世代LCD 增量市场基础上，在半导体和新能源设备上持续实现突破，实现业绩和收入的高增长。(长江商报记者 李璟)