作为全国集成电路产业发展的重要布局，粤港澳大湾区正在与京津冀、长三角地区形成优势互补，加快打造产业发展的第三极。2021年11月，千亿级广东省半导体及集成电路产业投资基金以及三支子基金宣布成立，极大带动了大湾区半导体投资热情。对于半导体专业投资基金赋能产业的进展，记者实地探访了近期获投标的---高端精密装备零部件供应商深圳市克洛诺斯科技有限公司。

系统化创新高端精密部件

坐在副驾驶位置上，克洛诺斯董事长杨光带领记者乘车参观克洛诺斯分散在深圳光明工业区内的两处厂房。深圳厂房面积合计约8000平方，但场地仍显不足。

“我们天天跟园区保安打听，哪里有空闲厂房就赶紧搬进去，铺设产线。” 2018年初，杨光与合伙人在深圳宝安开启了克洛诺斯新篇章，主营业务为超精密直线电机运动平台。去年公司发布了全新自主研发的专利产品“小蓝动力导轨”， 将电机与导轨有机结合，拓展到锂电池、光伏等多个行业市场，2021年年底，克洛诺斯发布了重复定位精度达±50nm的超精密气浮平台，对标国际先进高端技术水平。目前公司积累了上百项专利和7000多种非标精密平台的研发经验，并获评为广东省“专精特新”企业。

当前精密设备行业精度要求逐步提高，已经从早期的5μm-10μm发展至1μm-5μm，未来精密运动系统的定位精度将进一步提高至0.5um-1um。公司提供的测试数据显示，克洛诺斯主打的“小蓝”动力导轨最高速度可达4米/秒，重复定位精度可达到±3um，比丝杆传动电机的精度高出一个数量级；若配合光栅尺或磁栅尺，系统精度甚至可达到±1um，并且具备长行程、小体积、大推力、高刚性等特点。

另一方面，产品组件高度标准化、集成化也是克洛诺斯的特色。 “小蓝”动力导轨将导轨、直线电机、传感器有机整合，搭建起完整的闭环运动系统，便于客户灵活组装和维护，适应不同种类的下游行业需求，而且产品成本几乎是同类直线电机产品的一半。

目前克洛诺斯主打的精密LDI激光直写平台，其产品定位精度可达到±1.5um，营收贡献已经过亿元，在产业链自主可控趋势下，订单量稳步增长。据了解，在国产直写光刻龙头芯碁微装的供应商中，克洛诺斯产品已经替代中国台湾HIWIN、美国Aerotech；在影速科技的供应商中，公司也替代了中国台湾HIWIN、新加坡Akribis。

从市场竞争生态来看，中高端精密运动系统领域仍主要由境外以及中国台湾等地区厂商主导，以美国Aerotech、美国Newport、德国PI、新加坡Akribis以及中国台湾HIWIN等为代表垄断高端市场。在国产化浪潮下，国产本土厂商在系统、平台级产品层面不断通过性价比、服务响应以及产业链整合能力等多方面优势，逐步赶超国际先进水平。

“受益于国内灵活的产业链和广阔的应用市场，使得公司可以在精密设备上进一步创新。”杨光进一步表示，产品标准化意味着缩短了从设计到交付周期，提升了生产效率，适用于3C电子、新能源锂电、太阳能光伏等自动化生产线的迅速大规模上量需求，市场规模预估将到百亿元规模。

进军半导体设备市场

近年来粤港澳大湾区在大力补齐半导体制造短板，发展集成电路产业第三极，2021年11月成立了广东省半导体及集成电路产业投资基金，分设风险、设计、生态三支子基金，以及成立了总规模1000亿元的粤港澳大湾区科技创新产业投资基金。

虽然今年以来一级投资市场受二级市场影响，半导体领域投资出现降温，但半导体行业装备和材料赛道标的估值依旧稳健。

继2021年7月，克洛诺斯A轮获深圳华强创投和中小担创投投资3000万元，今年上半年公司获中芯聚源B轮近亿元独家投资。企查查显示6月24日克洛诺斯出现工商变更，深圳聚源芯创私募股权投资基金合伙企业（有限合伙）新增成为公司股东，最新占比10.71%；中芯聚源董事总经理郎立研新增成为公司董事。

中芯聚源是国内半导体及集成电路产业专业投资机构，此前投资地域主要集中在长三角地区；去年11月中芯聚源正式成为广东省生态子基金的管理人，其管理的基金规模70亿元，聚焦于大湾区集成电路产业链上下游企业投资。

郎立研向记者介绍，本次对克洛诺斯的投资便是来自生态子基金，目前已经有十几家企业投资过会。当前深圳政府高度重视半导体设备与材料端的投资，克洛诺斯正好从事设备上游的通用型零部件领域。

“选择投资克洛诺斯的重要背景就是公司占据着自动化、高端装备赛道，产品具有特色，已经实现系统级‘know-how’创新；同时团队市场化程度高、执行力强，并在产业链上深入磨合，业务稳步增长。”郎立研表示，克洛诺斯所服务的客户既有中芯聚源已投企业，也有意向投资标的，高度契合；本次投资后，中芯聚源将发挥在半导体产业积累的资源，帮助克洛诺斯从后端封测向前道晶圆制造，逐步深入布局半导体装备市场。

克洛诺斯董事长杨光也表示，非常荣幸得到中芯聚源和其他投资人的认可和投资。克洛诺斯致力于打造支持集成电路发展的运动控制平台基石，将立足先进工艺，打造更高技术标准的精密产品，助力提升半导体产业核心竞争力。

根据杨光规划，随着投资资金到位，克洛诺斯产能正在快速扩张和释放，深圳厂区产能将从约1亿元增至5亿元，并且未来重点将投向半导体装备零部件领域。组织架构上，克洛诺斯将联合上海交通大学、广州工业大学、哈工大等成立高端装备研究院，主攻半导体高端精密设备赛道；技术层面，克洛诺斯联合韩国INNO6开发生产的用于晶圆检测和切割的精密运动设备，重复定位精度可达到±5nm，最大速度达到1500mm/s。

产业链方面，克洛诺斯也在逐步完备建设。去年克洛诺斯在半导体新兴重镇安徽合肥，建成了3500平方恒温车间及办公区域，就是为了便于贴近客户供货，进一步满足长三角市场需求；公司还在山东济南成立大理石加工中心，保障操作机台原材料供应；为加强长三角地区布局，公司还在苏州、无锡等地设立办公点，后续还计划在越南设厂，产品甚至有望售往日本韩国等海外市场。

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